清浄度測定

　　　クリーンルームが規定の清浄度クラスをクリアしている

　　　かどうか判断するために、清浄度測定が行われます。

　　　クリーンルームの性能評価において最も重要な項目の

　　　一つです。

測定内容

　　　定量的な清浄度測定を行うために、クリーンルームの

　　　規格に応じた測定ポイントの選定や吸引流量を正しく

　　　設定します。

　　　清浄度の評価はJISまたはISOに準じた評価法を用い、

　　　それらに対応した最新鋭大流量吸引パーティクルカウ

　　　ンターを使用し、短時間で正確な測定を行います。

　　　弊社では≧ 0.1μm～≧25μmまで幅広い粒径に対応

　　　した測定を行っています。

• 評価例

　　　空気中の浮遊微粒子濃度の他、圧縮空気・ドライエアーの測定、清浄度の立上り・回復性能まで幅広く評価

　　　します。

　　　　　　■圧縮空気・ドライエアーの測定機器

　　　測定の結果、清浄度が規定のクラスを満たしていなかった場合、風速、気流、室圧測定まで行い、原因を徹

　　　底検証し、調整、改善まで行います。